テスト技術と仕様

リークテストはテストしたいパーツに適したテスト技術を選ぶのが重要です。
6つの基本技術とその応用から、最適なものを選び、治具のノウハウとともに提案します。
疑問があればお気軽にご相談ください。最適なものが必ずあります。
ここでは6つのエアリークテスト基本技術の概要と特徴、仕様を説明します。

差圧式測定

差圧式測定

ATEQ差圧式リークテストユニット

● 形式名:

● テストモード:

差圧測定、直圧測定、

通気テスト、他
*すべてのATEQ差圧式ユニットは
 直圧式測定機能も含みます。

● リーク判定単位:

Pa, Pa/sec, cm3/sec,
cm3/min, etc.

圧力差で測定

最も適用範囲が広く、人気のあるテストユニット

差圧式測定ユニットはマスターパートとテストパートの比較をします。

テストサイクルは、①つながっている両パートに設定の圧力をかけます。このとき圧力センサーでテスト圧力を測定監視しています。 ②規定の圧力に達したら加圧弁を閉じ、両パートの圧力が安定するのを待ちます。③圧力が安定したら検出に入ります。この時点から差圧センサーで測定します。 もしワークに漏れがあれば両パートに接続された差圧センサーの膜(ダイアフラム)が動き、テスターはその動きを電気的に検出します。④検出終了後、排気します。 基本測定サイクルは「加圧―安定(平衡)―検出―排気」の4工程となります。

一般的にはマスターボリュームを使用しますが、これはマスター側、テスト(ワーク)側の両方に起きうる 周囲圧力の変動、温度変化を同じにするためです。

漏れ量を圧力ではなく流量で管理したい場合は、流量校正された漏れ基準器(マスターリーク)を使用し、テストパート内部総容量と圧力降下量から 計算した流量を表示させます。

直圧式測定法との違いは、マスターとワークの圧力差をセンサーが感知するため精度が高いこと、両パートの差を検出する差圧式の場合テスト圧レンジに関係なく精度の高い測定ができることなどです。

テスト法は直接法、間接法、シールドコンポーネント法などがあります。

価格的にも手ごろで、多くの場合に最もお勧めできるユニットです。


■ 標準仕様

リークレンジ(Pa/sec) 1~50 , 1~500Pa/sec 差圧測定
差圧測定分解能 0.01Pa(50Pa F.S.) , 0.1Pa(500Pa F.S.)
差圧測定精度 2 .5% R.D.±1Pa
最大テスト圧力 1.6MPa
圧力測定分解能 0.1% F.S.
圧力測定精度 1.5% R.D.±0.15% F.S.
選択可能電空レギュレータ -100, -80, 10, 100, 500, 900, 1600KPa
選択可能手動レギュレータ -100, 50, 200, 400, 800KPa

■ 高圧仕様

リークレンジ(Pa/sec) 1~5000Pa/sec 差圧測定
差圧測定分解能 1Pa
差圧測定精度 2 .5% R.D.±1Pa
最大テスト圧力 8MPa
圧力測定分解能 1KPa
圧力測定精度 1% R.D.±2degits
選択可能レギュレータ 電空:4MPa 手動:8MPa

直圧式測定

直圧式測定

ATEQ直圧式測定リークテストユニット

● 形式名:

F(4シリーズ)

● テストモード:

直圧測定、通気テスト、他

● リーク判定単位:

Pa, Pa/sec, cm3/sec,
cm3/min, etc.

圧力差で測定

シンプルテクノロジー

直圧式測定ユニットはワークと大気圧を比較し、リーク値を測定します。

この方法は漏れ許容値が広く、短時間のサイクルが重要視されるときには良い方法です。

基本測定サイクルは「加圧―安定(平衡)―検出―排気」と差圧式と同じですが、直圧式は1サイクルすべてをひとつの圧力センサーで測定します。 テスターは検出に入った瞬間をゼロとしてそこからの圧力降下分をリークとして表示します。

漏れ量を圧力ではなく流量で管理したい場合は、差圧式と同じようにマスターリークを使用します。

この測定ユニットは希望のテスト圧力に合ったレンジのセンサーを選択することがポイントです。 高い圧力レンジのセンサーは分解能が低くなるためリークの読み取り精度も低くなります。高い圧力で精度良く検査したい場合は差圧式を使用します。

テスト法は直接法、間接法があります。

このユニットはシンプルな構成のため比較的低価格です。リーク許容量の条件が許せばまず検討してみると良いでしょう。


■ 標準仕様

リークレンジ(Pa/sec) 10Pa/sec ~ 直圧測定
圧力測定分解能 1~10Pa
圧力測定精度 4% F.S.
最大テスト圧力 1.6MPa
選択可能電空レギュレータ -100, -80, 10, 100, 500, 900, 1600KPa
選択可能手動レギュレータ -100, 50, 200, 400, 800KPa

■ 高圧仕様

リークレンジ(Pa/sec) 100Pa/sec ~ 直圧測定
圧力測定分解能 100Pa
圧力測定精度 4% F.S.
最大テスト圧力 10MPa
選択可能レギュレータ 電空式:4MPa 手動:10MPa

コンティニュアス(連続)フロー

コンティニュアス(連続)フロー

ATEQコンティニュアス
フローテストユニット

● 形式名:

● テストモード:

流量測定、他

● リーク判定単位:

cm3/min, cm3/h

流量で測定

最も便利な直接流量テストユニット

コンティニュアスフローは漏れを直接流量で読み取るリークテストユニットです。

層流管(ラミナーフロー)とその前後に接続された差圧センサーがこのユニットの心臓部です。 下記のラミナーフローの技術をベースに、より小さいリークに対応しています。

層流管に空気の流れがあるとその前後の圧力に差が発生します。その圧力差が接続された差圧センサーの膜(ダイアフラム)を動かします。 テスターはその動きを電気的に検出し、ディスプレイ上に流量表示します。また、内部にリザーブボリュームを持ち、リークから発生するフローの安定を確保するようになっています。 この技術では精度の高い差圧センサーと層流管が、正確な測定するために重要になります。

このユニットでの測定はテスト圧力、ワークの内部容量、 リザーブボリュームの容量などを考慮し構成を決定します。

このテストユニットは低圧での比較的小さいパーツのテストに適しており、特にガス関連の部品の流量測定に最適です。テスターがリークを検知している間に、オペレーターはその量を画面で確認しながら、許容できるリークまで調整できます。


■ 標準仕様

リークレンジ(cm3.atm/h) 0~100 , 0~1000cm3.atm/h
流量測定分解能 0.1 , 1cm3.atm/h
流量測定精度 3,5 % of R.D.±0,2 cm3.atm/h , 3,5 % of R.D.±0,5 cm3.atm/h
圧力測定分解能 0.1% of F.S.
圧力測定精度 1%R.D.±2digitsと0.1%F.S.以下
最大テスト圧力 50KPa
選択可能手動レギュレータ 50KPa

ラミナーフロー

ラミナーフロー

ATEQラミナーフローテストユニット

● 形式名:

● テストモード:

流量測定、他

● リーク判定単位:

ml/sec, ml/min,
ml/h, l/h etc.

流量で測定

比較的大きいリークを直接流量で測定したい場合に最適

場合によってリークは"小さいフロー"、フローは"大きなリーク"と見ることができます。 判定値が大きい場合はラミナーフローユニットの使用を考えてみてください。

ラミナーフローは漏れを直接流量で読み取るリークテストユニットです。上記コンティニュアスフローの基本になる構造で、層流管(ラミナーフロー)とその前後に接続された差圧センサーを内蔵します。 このユニットは内部ボリュームを持たない最も基本的な構造です。層流管に空気の流れがあるとその前後の圧力に差が発生します。その圧力差が接続された差圧センサーの膜(ダイアフラム)を動かします。 テスターはその動きを電気的に検出します。

テスト法は直接法と間接法があります。直接法は圧力供給レギュレータ→層流管→ワークの順にユニットを構成します。間接法は圧力供給レギュレータ→ワーク→層流管の順にユニットを構成します。

コンティニュアスフローとの違いは、大きなリークの測定に向き、比較的高圧の測定ができることです。


■ 標準仕様

リークレンジ(L/H) 5 , 30 , 150 , 500 , 1500 , 4000 , 10000 L/H
流量測定分解能 0.001 ~ 1l/h(レンジによる)
流量測定精度 2% of R.D. ±3digits (標準状態 20℃ 1013hPa)
圧力測定分解能 0.1% of F.S.
圧力測定精度 1%R.D.±2digitsと0.1%F.S.以下
最大テスト圧力 350KPa
選択可能手動レギュレータ -100, 50, 200, 400KPa

マスフロー

マスフロー

ATEQマスフローテストユニット

● 形式名:

MF

● テストモード:

流量測定、通気テスト、他

● リーク判定単位:

cm3/sec, cm3/min,
cm3/h, mm3/sec, g/min, g/h etc.

流量で測定

独自のマスフロー技術で微小流量を直接測定

このマスフローユニットは差圧式測定とラミナーフローの利点を融合進化させた、ATEQ独自のユニットです。

ワークが漏れている場合、マスターパートからテストパート(ワーク側)にフローが発生します。両パートの間に接続された層流管と差圧センサーでその流れを検出します。 ユニットはラミナーを流れる空気の質量をリーク量に変換します。

他社の技術と大きく違うのは、当社はリセットなしで大きなリークも扱うことができる点です。 又、空気の質量を測定するために熱エレメントを使っていません。汚れで精度を落とさないためです。

このユニットは4MPaまでの高圧下での測定も可能です。 さらに、厳しい条件下でも正確な結果が得られるよう温度補正機能も備えています。

基本的に直接法でテストします。


■ 標準仕様

リークレンジ(cm3.atm/min) 2 , 20 , 200 cm3.atm/min
分解能 0.001 , 0.01 , 0.1cm3.atm/min
流量測定精度 2.5 % of R.D. ±2digits
圧力測定分解能 0.1% of F.S.
圧力測定精度 1.5%R.D.±0.01%F.S.以下(レンジによる)
最大テスト圧力 4MPa
選択可能電空レギュレータ -100, -80, 10, 100, 500, 900, 1600, 4000KPa
選択可能手動レギュレータ -100, 50, 200, 400, 800, 2000, 4000KPa

低イオン流測定

低イオン流測定

ATEQ低イオン流テストユニット

● 形式名:

Ionic

● リーク判定単位:

電圧降下(%)

電圧差で測定

特許取得の低イオン流測定法

当社のほとんどのリークテスターは空気を使用してリーク量を検知するものですが、「イオニック」は、電気を用います。

特許取得済みの低イオン流測定法とは、電極とワーク下のプレート間の電圧を測定するものです。
ワークに穴があると、イオン流がプレートへ流れ電圧が下がりますが、「イオニック」はこの電圧の降下率を測定してリークの合否判定をします。

微少電流のため、感電の危険性もありません。

絶縁性シート状フィルム、プラスチック部品やゴム部品の検査に最適です。


■ 標準仕様

検出可能サイズ 1μm ~
サイクルスピード 18pieces/sec~
測定精度 ワークによります
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