テスト技術と仕様

当社は30年に渡りラミナーフロー技術を培い、精密で信頼性の高いテスターを開発してきました。
メンテナンスも容易かつ安定性のあるテスターを作り続けています。
正確なフローテストを行うためにははテスターと治具、両方に注意しなけれはなりません。
私達は治具のノウハウもあわせて提案します。ここではフローメーターの基本技術と仕様を説明します。

ラミナーフロー

ラミナーフロー

ATEQラミナーフローテストユニット

● 形式名:

● テストモード:

流量測定、他

● リーク判定単位:

ml/sec, ml/min,
ml/h, l/h etc.

流量で測定

流量を測定したい場合に

ラミナーフローは気体流量を測定するフローテストユニットです。

層流管(ラミナーフロー)とその前後に接続された差圧センサーで流量を測定します。

層流管に空気の流れがあるとその前後の圧力に差が発生します。その圧力差が接続された差圧センサーの膜(ダイアフラム)を動かします。 テスターはその動きを電気的に検出、数値を換算しディスプレイ上に流量表示します。このため精度の高い差圧センサーと層流管が、正確な測定するために重要になります。

テスト法は直接法と間接法があります。直接法は圧力供給レギュレータ→層流管→ワークの順にユニットを構成します。間接法は圧力供給レギュレータ→ワーク→層流管の順にユニットを構成します。

フローテストの直接法と間接法に関してはこちらを参照ください。


■ 標準仕様

リークレンジ(L/H) 5 , 30 , 150 , 500 , 1500 , 4000 , 10000 L/H
差圧測定分解能 0.001 ~ 1l/h(レンジによる)
差圧測定精度 2% of R.D. ±3digits (標準状態 20℃ 1013hPa)
圧力測定分解能 0.1% of F.S.
圧力測定精度 1%R.D.±2digitsと0.1%F.S.以下
最大テスト圧力 350KPa
選択可能手動レギュレータ -100, 50, 200, 400KPa

低イオン流測定

低イオン流測定

ATEQ低イオン流テストユニット

● 形式名:

Ionic

● リーク判定単位:

電圧降下(%)
ml/h, l/h etc.

電圧差で測定

特許取得の低イオン流測定法

当社のほとんどのリークテスターは空気を使用してリーク量を検知するものですが、「イオニック」は、電気を用います。

特許取得済みの低イオン流測定法とは、電極とワーク下のプレート間の電圧を測定するものです。
ワークに穴があると、イオン流がプレートへ流れ電圧が下がりますが、「イオニック」はこの電圧の降下率を測定してリークの合否判定をします。

微少電流のため、感電の危険性もありません。

絶縁性シート状フィルム、プラスチック部品やゴム部品の検査に最適です。


■ 標準仕様

検出可能サイズ 1μm ~
サイクルスピード 18pieces/sec~
測定精度 ワークによります
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